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太阳能硅锭的金刚石涂层线切割

信息来源:本站 | 发布日期: 2018-10-26 | 浏览量:
关键词:金刚石涂层线切割
  金刚石嵌入式磨料线(以下称为金刚石线)的锯切工艺是用于快速切割太阳能硅锭的高效技术;然而,削减效率损失的根本原因尚不清楚。理解这一复杂过程的一种方法是研究1)金刚石涂层线(DCW)上的金刚石颗粒)切割过程中收集的Si切屑。在本论文中,我们使用共聚焦,微拉曼光谱来揭示晶圆锯切效率的损失机制。
  
  我们分析了进行锯切的金刚石微粒,通过分析单个金刚石颗粒的相变和应力分布,观察到石墨化(即金刚石的软化)和残余应力。
  
  通过研究单个颗粒(切屑),建立了颗粒形状和相位之间的相关性,发现纤维状硅颗粒是无定形的-表示韧性切割;而球形制品是结晶的-表明脆性切割。这一重要发现有助于通过简单地测量整个切屑簇来量化切割效率;其相分布和应力变化,作为切割过程中切屑提取时间的函数。
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